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本公开提供了一种镓酸锌薄膜的制备方法以及镓酸锌薄膜，其中，所述镓酸锌薄膜的制备方法包括：提供衬底；利用射频磁控溅射工艺，使用镓酸锌靶材和氧化锌靶材，在所述衬底上形成镓酸锌薄膜；其中，在射频磁控溅射工艺过程中，镓酸锌靶材的溅射功率为50W~2...
该专利属于中国科学院宁波材料技术与工程研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院宁波材料技术与工程研究所授权不得商用。

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