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本技术公开了一种磁控溅射镀膜工艺气体供气装置，属于镀膜工艺供气技术领域。包括腔室，腔室顶部设置有供气管。本技术通过检测到气体泄漏后利用控制器打开吸气泵使得腔室附近的气体吸入处理组件内部配合具有吸附块的蜂窝板和活性炭板对泄露气体进行吸附，避免...
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