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本发明提供一种基板装卸机器人、基板装卸方法以及成膜装置，防止基板的装卸时的各种部件的破损。基板装卸机器人，具备：保持基板的基板保持部件；使基板保持部件移动的机械臂；连接基板保持部件和机械臂的前端的至少3根线状部件，3根线状部件由形状记忆合金...
该专利属于株式会社力森诺科所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社力森诺科授权不得商用。

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