基板装卸机器人、基板装卸方法以及成膜装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种基板装卸机器人、基板装卸方法以及成膜装置，防止基板的装卸时的各种部件的破损。基板装卸机器人，具备：保持基板的基板保持部件；使基板保持部件移动的机械臂；连接基板保持部件和机械臂的前端的至少3根线状部件，3根线状部件由形状记忆合金形成，相对于能自由装卸地保持基板的基板保持器装卸基板时的基板保持部件的温度为形状记忆合金的形状恢复温度的范围内。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种基板装卸机器人、基板装卸方法以及成膜装置。

技术介绍

1、以往，已知有装卸基板的基板装卸机器人。另外，公知有装卸基板的基板装卸方法以及对基板进行成膜处理的成膜装置(例如参照专利文献1)。

2、【现有技术文献】

3、【专利文献】

4、【专利文献1】日本特开2010-222700号公报

技术实现思路

1、【专利技术所要解决的课题】

2、但是，在专利文献1中，有时基板装卸机器人将基板过度地按压在设置于基板保持器上的支承部件上，基板的端部有时会被支承部件损伤。另外，有时设置在基板装卸机器人上的基板支承部件偶然地与基板或基板保持器接触，由于接触时的冲击而使各种部件破损。

3、因此，鉴于上述问题，本专利技术的技术的目的在于防止基板的装卸时的各种部件的破损。

4、【解决课题的手段】

5、根据本专利技术的一个方式，

6、提供一种基板装卸机器人，其中，

7、具备：保持基板的基板保持部件；

8本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种基板装卸机器人，其中，

2.根据权利要求1所述的基板装卸机器人，其中，

3.一种基板装卸方法，包括：

4.一种成膜装置，具备：

【技术特征摘要】

1.一种基板装卸机器人，其中，

2.根据权利要求1所述的基板装卸机器人，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：森隆之，
申请(专利权)人：株式会社力森诺科，
类型：发明
国别省市：