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本技术属于晶棒检测技术领域,公开了一种用于晶棒的尾端检测机构。装置设置在晶棒输送线上方,包括尾端检测安装板,尾端检测板通过销轴B与尾端检测安装板连接,尾端检测安装板上设置尾端检测气缸,尾端检测板上设置检测板连接座,尾端检测气缸的气缸杆与检测...该专利属于连智(大连)智能科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过连智(大连)智能科技有限公司授权不得商用。
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本技术属于晶棒检测技术领域,公开了一种用于晶棒的尾端检测机构。装置设置在晶棒输送线上方,包括尾端检测安装板,尾端检测板通过销轴B与尾端检测安装板连接,尾端检测安装板上设置尾端检测气缸,尾端检测板上设置检测板连接座,尾端检测气缸的气缸杆与检测...