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本申请实施例涉及一种晶圆传送方法、装置、计算机可读存储介质及电子设备，其中，方法应用于半导体设备，半导体设备包括伯努利手臂，伯努利手臂包括多个功能区，方法包括：获取晶圆对应于多个功能区的多个位置处的翘曲情况；根据翘曲情况确定受力补偿方案，受...
该专利属于粤芯半导体技术股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过粤芯半导体技术股份有限公司授权不得商用。

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