温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
本技术属于晶圆面型干涉检测的技术领域，具体地说是一种用于双面抛光晶圆测量干涉仪的映射校准装置，包括刻蚀有映射校准关系的校准槽的透明亚克力板、晶圆测量干涉仪，通过两台晶圆测量干涉仪分别对校准槽结构进行成像，获得每台干涉仪各自的成像畸变；通过分...该专利属于江苏省计量科学研究院（江苏省能源计量数据中心）所有，仅供学习研究参考，未经过江苏省计量科学研究院（江苏省能源计量数据中心）授权不得商用。