下载半导体温控设备的技术资料

文档序号:41498710

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本发明实施例提供了一种半导体温控设备,涉及半导体技术领域。半导体温控设备包括第一制冷系统、第二制冷系统、第一支路及循环系统。第一制冷系统包括第一制冷回路,第一制冷回路上设有依次连接的第一压缩机、第一冷凝器、第一节流阀及第一蒸发器。第二制冷系...
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