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本发明公开了一种集成电路晶圆针印图像缺陷检测方法，包括：采集待检测的晶圆针印图像；将采集到的晶圆针印图像处理后输入到主干网络中，通过主干网络对图像进行特征提取得到特征图；通过主干网络的CA‑SPPFCSPC模块对特征图进行小目标特征提取改善...
该专利属于江苏科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过江苏科技大学授权不得商用。

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