下载一种硅片温度测量设备的技术资料

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本技术涉及温度测量设备技术领域,且公开了一种硅片温度测量设备,包括支撑架,所述支撑架的顶端安装有支撑板,所述支撑架右内壁的顶部安装有第一电机,所述第一电机的输出轴安装有螺纹杆,所述支撑架左内壁的顶部安装有活动机构,所述螺纹杆的左侧与活动机构...
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