一种硅片温度测量设备制造技术

本技术涉及温度测量设备技术领域，且公开了一种硅片温度测量设备，包括支撑架，所述支撑架的顶端安装有支撑板，所述支撑架右内壁的顶部安装有第一电机，所述第一电机的输出轴安装有螺纹杆，所述支撑架左内壁的顶部安装有活动机构，所述螺纹杆的左侧与活动机构相连接，所述螺纹杆的中部安装有螺纹套。本技术通过第一电机带动螺纹杆转动，能够带动螺纹套沿着直线移动，从而能够带动活动板进行左右移动，方便将硅片移动到测温箱的内部，在对硅片进行温度测量时降低外部因素对测量温度的影响，并且通过第二电机带动安装架进行转动，能够方便对硅片的角度进行调整，能够方便设备对硅片进行方位地测温，能够降低硅片表面温度的测量误差。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及温度测量设备，尤其涉及一种硅片温度测量设备。

技术介绍

1、地壳中含量达25.8％的硅元素，为单晶硅的生产提供了取之不尽的源泉。由于硅元素是地壳中储量最丰富的元素之一，硅片是由硅单质制成的元件，是半导体行业的重要材料。

2、现有的温度测量设备在对硅片进行温度测量时，不方便对硅片进行夹紧固定，无法对夹持的硅片进行旋转，导致在测量时需要多次对模型进行固定根据中国专利公告号cn206891867u所公开的硅片机械强度测量装置，该测量装置不方便对硅片的温度进行测量，并且不方便对硅片进行夹紧固定，无法对夹持的硅片进行旋转，在使用中较为不便，并且现有的测量设备无法对模型的角度进行调节，从而影响硅片的测量结果，针对以上情况提出一种硅片温度测量设备来解决上述提出的问题。

技术实现思路

1、本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，如：现有的测量装置不方便对硅片的温度进行测量，并且不方便对硅片进行夹紧固定，无法对夹持的硅片进行旋转，在使用中较为不便，并且现有的测量设备无法对模型的角度进行调节，从而影响硅本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种硅片温度测量设备，包括支撑架(1)，其特征在于，所述支撑架(1)的顶端安装有支撑板(11)，所述支撑架(1)右内壁的顶部安装有第一电机(2)，所述第一电机(2)的输出轴安装有螺纹杆(3)，所述支撑架(1)左内壁的顶部安装有活动机构(5)，所述螺纹杆(3)的左侧与活动机构(5)相连接，所述螺纹杆(3)的中部安装有螺纹套(7)，所述螺纹套(7)的顶端安装有连接杆(8)，所述连接杆(8)的顶端穿过支撑板(11)安装有活动板(13)，所述活动板(13)顶端的中部安装有第二电机(14)，所述第二电机(14)输出轴的顶端安装有安装架(16)，所述活动板(13)的顶端安装有限位机构(4)，所述...

【技术特征摘要】

1.一种硅片温度测量设备，包括支撑架(1)，其特征在于，所述支撑架(1)的顶端安装有支撑板(11)，所述支撑架(1)右内壁的顶部安装有第一电机(2)，所述第一电机(2)的输出轴安装有螺纹杆(3)，所述支撑架(1)左内壁的顶部安装有活动机构(5)，所述螺纹杆(3)的左侧与活动机构(5)相连接，所述螺纹杆(3)的中部安装有螺纹套(7)，所述螺纹套(7)的顶端安装有连接杆(8)，所述连接杆(8)的顶端穿过支撑板(11)安装有活动板(13)，所述活动板(13)顶端的中部安装有第二电机(14)，所述第二电机(14)输出轴的顶端安装有安装架(16)，所述活动板(13)的顶端安装有限位机构(4)，所述限位机构(4)的顶端与安装架(16)相连接，所述安装架(16)左侧的顶部安装有第三电机(17)，所述第三电机(17)的输出轴穿过安装架(16)安装有转动板(12)，所述安装架(16)右侧的顶部安装有固定机构(6)，所述固定机构(6)左侧活动安装有夹紧板(15)，所述支撑板(11)顶端的左侧安装有测温箱(9)，所述测温箱(9)内顶壁的中部安装有红外温度测量器(18)。

2.根据权利要求1所述的一种硅片温度测量设备，其特征在于，所述固定机构(6)包括安装在安装架(16)右侧顶部的固定架(61)，所述固定架(61)的右侧安装有第四电机(62)，所述第四电机(62)的输出轴穿过固定架(61)安装有调节杆(63)，所述固定架(...

【专利技术属性】
技术研发人员：李小莉，
申请(专利权)人：上海倍拉机械设备有限公司，
类型：新型
国别省市：