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本技术公开一种Tray盘的分盘机构及分盘设备,Tray盘的分盘机构包括支撑架、左侧分盘组件和右侧分盘组件,支撑架包括相对设置的左侧支撑板和右侧支撑板以及连接左侧支撑板和右侧支撑板的横向支撑板,横向支撑板沿长度方向开设有横向管路,横向管路上设...该专利属于深圳市海目芯微电子装备科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市海目芯微电子装备科技有限公司授权不得商用。
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