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本发明公开了一种PVD设备防空载上料系统及上料方法，涉及硅片加工技术领域，包括：机架，所述机架上设置有载板上料区、硅片码料区、待加工区以及载板转运装置，所述硅片码料区和待上料区分别置于载板上料区的两侧；本发明可以对真载板进行硅片码放的同时向...
该专利属于无锡江松科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡江松科技股份有限公司授权不得商用。

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