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本发明提供了一种待测衬底的检测装置以及待测衬底的检测方。所述待测衬底表面具有第一待测点和第二待测点，所述待测衬底的检测装置包括：发射单元，所述发射单元相所述待测衬底发射特征图案对所述待测衬底执行位移测量处理；采集单元，所述采集单元获取所述发...
该专利属于深圳镭赫技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳镭赫技术有限公司授权不得商用。

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