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本发明公开了一种芯片崩边视觉缺陷检测系统及方法，涉及半导体视觉检测技术领域。本发明包括照明系统、CCD相机、图像存储装置和PC机；CCD相机包括光学镜头、CCD图像传感器和图像采集卡；照明系统包括积分球、发光二极管和稳压装置；积分球中设置有...
该专利属于中关村芯园（北京）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中关村芯园（北京）有限公司授权不得商用。

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