下载非易失性存储器结构及其形成方法的技术资料

文档序号:41487145

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本发明提供一种非易失性存储器结构及其形成方法,该结构包括一衬底以及形成于衬底上方的一栅极堆叠层。栅极堆叠层包括一主动图案以及一扶轨块体。主动图案包括多个第一主动堆叠和多个第二主动堆叠,所述多个第一主动堆叠和所述多个第二主动堆叠分别在第一方向...
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