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昆山东威科技股份有限公司
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硅片位置矫正机构制造技术
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文档序号:41486004
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本技术公开了一种硅片位置矫正机构,包括配载模组、转嫁模组和视觉检测模组。配载模组设置有多个配载件,每个配载件用于获取固定硅片;转嫁模组包括转嫁平台、多个转嫁件和多个位置矫正件,位置矫正件可滑动设置于转嫁平台,转嫁件设置于位置矫正件,转嫁件移...
该专利属于昆山东威科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过昆山东威科技股份有限公司授权不得商用。
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