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使用加热键合头的直接晶粒装配制造技术
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下载使用加热键合头的直接晶粒装配的技术资料
文档序号:4147194
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本发明公开了一种键合包含有焊料层的晶粒的方法,焊料层具有熔点Tm,该方法包含有以下步骤:将键合头加热到键合头设定温度T1,T1高于Tm;将衬底加热到衬底设定温度T2,T2低于Tm;使用键合头拾取晶粒,并朝向温度T1加热晶粒,以便于熔化焊料层...
该专利属于先进自动器材有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过先进自动器材有限公司授权不得商用。
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