温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本技术涉及半导体制造设备技术领域，公开一种喷嘴清洁装置及涂胶显影机，该喷嘴清洁装置包括：超声发生组件和排液清洗管路；其中，排液清洗管路具有喷嘴容纳空间，并用于向喷嘴容纳空间内喷洒光阻溶剂；超声发生组件朝向排液清洗管路，并用于向排液清洗管路内...
该专利属于武汉楚兴技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉楚兴技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。