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本发明公开了一种高精度的光刻胶供给装置，包括驱动部和吸吐部，所述吸吐部包括：药液腔，用于暂存光刻胶；活塞，连接至所述驱动部，其中，在所述活塞移动的情况下，药液腔内的压强能够增大或减小；CUP柔性膜，连接至活塞，其中，所述CUP柔性膜按照将所...
该专利属于深圳市向实泵业科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市向实泵业科技有限公司授权不得商用。

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