【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光刻胶供给，尤其涉及一种高精度的光刻胶供给装置。
技术介绍
1、在tft-lcd(thin film transistor-liquid crystal display，薄膜晶体管液晶显示器)制造产业cf(彩膜厂)的coater（涂布）工艺中，对光刻胶的汲取量要求非常严格，精度控制非常高。
2、本申请旨在研发一种高精度的光刻胶供给装置，其内部核心零部件采用氟树脂材料，可耐酸碱腐蚀，可适合于各种药液的精密定量汲取和定量吐出。其内部采用无滑动部结构，几乎不产生其他粒子，保证了汲取液的无污染性和高纯度性。也无需日常维护，可实现保持高重复精度的定量稳定吐出。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于克服现有技术的缺点，提供一种高精度的光刻胶供给装置。
2、本专利技术的目的通过以下技术方案来实现：一种高精度的光刻胶供给装置，包括驱动部和吸吐部，所述吸吐部包括：药液腔，用于暂存光刻胶；活塞，连接至所述驱动部，其中，在所述活塞移动的情况下，药液腔内的压强能够增大或减小...
【技术保护点】
1.一种高精度的光刻胶供给装置，包括驱动部（1）和吸吐部（2），其特征在于，所述吸吐部（2）包括：
2.根据权利要求1所述的光刻胶供给装置，其特征在于，所述CUP柔性膜（21）具有第一形态和第二形态，在所述活塞（20）沿第一方向移动至第一设定位置时，所述CUP柔性膜（21）处于包裹所述活塞（20）的第一形态，在所述活塞（20）沿与所述第一方向相反的第二方向移动至第二设定位置时，所述CUP柔性膜（21）处于与活塞（20）的侧壁分离的第二形态。
3.根据权利要求2所述的光刻胶供给装置，其特征在于，药液腔（22）的内径大于活塞（20）的外径，使得CU...
【技术特征摘要】
1.一种高精度的光刻胶供给装置，包括驱动部（1）和吸吐部（2），其特征在于，所述吸吐部（2）包括：
2.根据权利要求1所述的光刻胶供给装置，其特征在于，所述cup柔性膜（21）具有第一形态和第二形态，在所述活塞（20）沿第一方向移动至第一设定位置时，所述cup柔性膜（21）处于包裹所述活塞（20）的第一形态，在所述活塞（20）沿与所述第一方向相反的第二方向移动至第二设定位置时，所述cup柔性膜（21）处于与活塞（20）的侧壁分离的第二形态。
3.根据权利要求2所述的光刻胶供给装置，其特征在于，药液腔（22）的内径大于活塞（20）的外径，使得cup柔性膜（21）的局部能够移动至药液腔（22）的内壁活塞（20）的外壁之间。
4.根据权利要求3所述的光刻胶供给装置，其特征在于，所述吸入部（2）还包括吸入口（23）和吐出口（24），其中，所述吸入口（23）位于吸入部（2）的侧壁上，所述吐出口（24）位于吸入部（2）的顶部。
5.根据权利要求2所述的光刻胶供给装置，其特征在于，所述驱动部（1）包括本体（14）、电机（11）、减速机（12）、联轴器（13）、滚珠丝杠（15）和活塞杆（19），所述驱动部（1）设置于所述本体（14）上，所述联轴器（13）经所述减速机（12）连接至所述电机（11），所述活塞杆（19）经所述滚珠丝杠（15）连接至所述联轴器（13），所述活塞（20）连接至所述活塞杆（19）。
6.根据权利要求5所述的光刻胶供给装置，其特征在于，所述驱动部（1）还包括位于活塞（20）下部的真空腔（18），所述真空腔（18）上设置有负压口（17）。
7.根据权利要求6所述的光刻胶供给装置，其特征在于，所述本体（14）中设置有直线导轨（16），所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘晓阳，
申请(专利权)人：深圳市向实泵业科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。