下载谐振器的制备方法和谐振器的技术资料

文档序号:41470022

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本申请提供了一种谐振器的制备方法和谐振器。该方法包括:提供基底;在基底的一侧表面上形成第一电极;在第一电极背离基底的一侧表面上形成压电层,压电层的背离第一电极的一侧具有第一表面,第一表面具有第一区域和第二区域,第二区域位于第一区域的两侧;在...
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