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本发明公开了一种基于白光干涉仪的薄膜厚度测试方法，包括如下步骤：步骤1、准备多个标样薄膜；步骤2、将步骤1中的一个标样薄膜置于白光干涉仪的载物台上，将介质微球放在标样薄膜的表面上；步骤3、得到标样薄膜的上表面的干涉条纹图；步骤4、得到标样薄...
该专利属于南京埃米仪器科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过南京埃米仪器科技有限公司授权不得商用。

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