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本发明公布了一种晶圆清洗装置，包括晶圆件A，还包括清洗箱、毛刷座、第一传动辊、第二传动辊和电机，所述清洗箱的一侧贯穿连接有排污管，且排污管连通在清洗箱内壁底部，本发明的有益效果是，首先通过设置的第一传动辊和第二传动辊相互配合，从而能够对放入...
该专利属于中国计量大学所有，仅供学习研究参考，未经过中国计量大学授权不得商用。

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