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本技术提供一种用于硅基光电晶圆边缘耦合测试的光耦合器，包括光芯片、水平耦合器、光传输波导、光栅耦合器及光纤阵列；水平耦合器、光传输波导和光栅耦合器均同侧设于光芯片上；水平耦合器设于光芯片的一端，光栅耦合器设于光芯片的另一端；光传输波导连接于...
该专利属于湖北九峰山实验室所有，仅供学习研究参考，未经过湖北九峰山实验室授权不得商用。

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