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用于快速近似聚焦的系统和方法技术方案
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下载用于快速近似聚焦的系统和方法的技术资料
文档序号:4146248
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快速近似聚焦操作提供了近似聚焦的图像,该图像足够聚焦以支持某些随后的检测操作。当该操作用来提供用于在检测平坦工件时占主导地位的连续检测操作的图像时,特别有益。该快速近似聚焦操作提供了改善的检测吞吐量,因为与传统的自动聚焦操作相比,该快速近似...
该专利属于株式会社三丰所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社三丰授权不得商用。
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