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本发明公开了一种高压缩率的石英光罩抛光吸附垫及其制备工艺，属于抛光吸附垫技术领域，包括离型膜、胶粘层和吸附层，所述离型膜设置在胶粘层上，所述胶粘层设置在吸附层上。本发明解决了现有的石英光罩在抛光处理时，其抛光吸附垫的压缩率低下，导致抛光吸附...
该专利属于安徽禾臣新材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过安徽禾臣新材料有限公司授权不得商用。

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