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本发明涉及半导体长晶技术领域,提供一种碳化硅单晶的生长方法。该方法包括:将第一碳化硅原料放入碳化硅单晶生长容器内,其中,在碳化硅单晶生长容器中的碳化硅原料的上表面为水平面;将第二碳化硅原料放入预设形状的容器内,进行焙烧成型后,设置在第一碳化...该专利属于河北同光半导体股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过河北同光半导体股份有限公司授权不得商用。
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