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本技术涉及单晶炉技术领域，公开了一种单晶炉用隔热降氧支撑工装及系统，其中一种单晶炉用隔热降氧支撑工装，包括设置在套设于坩埚外的环形加热板的上方的隔热降氧支撑环，隔热降氧支撑环的底面上开设有环形的隔热降氧槽，隔热降氧槽在水平面上的投影包含环形...
该专利属于乐山市京运通半导体材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过乐山市京运通半导体材料有限公司授权不得商用。

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