【技术实现步骤摘要】
本技术涉及单晶炉，具体涉及一种单晶炉用隔热降氧支撑工装及系统。
技术介绍
1、为了提升单晶硅产量，大尺寸热场应运而生，但大尺寸热场带来了单晶炉内高氧的问题，单晶炉内高氧不仅会引起晶棒氧反切比例上升、晶棒有效单产下降及拉晶成本上升，还会导致硅片电池上出现黑心和同心圆，降低电池片效率和半衰期，为了进一步提升晶棒有效单产，提高单晶硅片的品质，降氧问题迫在眉睫。单晶炉内高氧的问题主要是由于单晶炉坩埚受热引起的，因此需要一种单晶炉隔热降氧装置来减少坩埚受到的热辐射，达到降氧目的。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种单晶炉用隔热降氧支撑工装及系统，能够减少坩埚受到的热辐射，达到降氧目的，进而提升晶棒有效单产和单晶硅片的品质。
2、为解决上述技术问题，本技术采用了以下方案：
3、第一方面，一种单晶炉用隔热降氧支撑工装，包括设置在套设于坩埚外的环形加热板的上方的隔热降氧支撑环，所述隔热降氧支撑环的底面上开设有环形的隔热降氧槽，所述隔热降氧槽在水平面上的投影包含所述环形加热板...
【技术保护点】
1.一种单晶炉用隔热降氧支撑工装，其特征在于，包括设置在套设于坩埚(8)外的环形加热板(7)的上方的隔热降氧支撑环(1)，所述隔热降氧支撑环(1)的底面上开设有环形的隔热降氧槽(3)，所述隔热降氧槽(3)在水平面上的投影包含所述环形加热板(7)在水平面上的投影。
2.根据权利要求1所述的一种单晶炉用隔热降氧支撑工装，其特征在于，设定隔热降氧支撑环(1)的轴线所处的平面为隔热降氧支撑环(1)的中心面，所述隔热降氧槽(3)在隔热降氧支撑环(1)的中心面上的截面为三角形。
3.根据权利要求2所述的一种单晶炉用隔热降氧支撑工装，其特征在于，所述隔热降氧...
【技术特征摘要】
1.一种单晶炉用隔热降氧支撑工装，其特征在于，包括设置在套设于坩埚(8)外的环形加热板(7)的上方的隔热降氧支撑环(1)，所述隔热降氧支撑环(1)的底面上开设有环形的隔热降氧槽(3)，所述隔热降氧槽(3)在水平面上的投影包含所述环形加热板(7)在水平面上的投影。
2.根据权利要求1所述的一种单晶炉用隔热降氧支撑工装，其特征在于，设定隔热降氧支撑环(1)的轴线所处的平面为隔热降氧支撑环(1)的中心面，所述隔热降氧槽(3)在隔热降氧支撑环(1)的中心面上的截面为三角形。
3.根据权利要求2所述的一种单晶炉用隔热降氧支撑工装，其特征在于，所述隔热降氧支撑环(1)的底面上开设有与套设在环形加热板(7)外的下保温桶(6)的顶部可拆卸连接的第一环形安装槽(4)，所述第一环形安装槽(4)环绕在隔热降氧槽(3)的外围。
4.根据权利要求1所述的一种单晶炉用隔热降氧支撑工装，其特征在于，所述隔热降氧支撑环(1)的顶...
【专利技术属性】
技术研发人员：贾智君，李飞剑，赖嘉伦，严梓月，王杭，
申请(专利权)人：乐山市京运通半导体材料有限公司，
类型：新型
国别省市：
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