下载一种多晶硅还原炉底盘以及多晶硅还原炉的技术资料

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本技术提供一种多晶硅还原炉底盘,所述底盘的盘面上开设有多个电极孔,用于连接硅棒,所述电极孔的布局方式是,从内至外依次布置在以盘面中心为形心的多个电极环带上,每个电极环带上的电极孔的数目为6n个,其中n为各电极环带从内至外的排列序号。本技术的...
该专利属于新特能源股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过新特能源股份有限公司授权不得商用。

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