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精细金属掩模板制造技术
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文档序号:41457730
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精细金属掩模板的一实施例可包括:基片;掩模片,形成在基片,具有形成有多个单元的图案区域;以及切割区域,形成在基片与掩模片之间,切割区域包括:切割线,形成多个;以及桥部,配置在多个切割线中每个切割线的两端,形成多个并相互隔开,用于连接基片与掩...
该专利属于丰元精密株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过丰元精密株式会社授权不得商用。
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