温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本技术公开了一种能复合多种电源的磁控溅射设备，属于超高真空镀膜设备技术领域。该能复合多种电源的磁控溅射设备包括主腔，主腔连接有快速进样腔和抽真空系统，主腔顶部设置有呈正三角形分布的三个阴极插口，三个阴极插口分别连接阴极Ⅰ、阴极Ⅱ和阴极Ⅲ，阴...
该专利属于西安科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过西安科技大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。