温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种设备前端模块。易于使非活性气体在输送室内垂直地流动，使灰尘不易飞扬。设备前端模块含有：壳体(2)，其在内部构成输送室；支承板(37)，其用于在壳体(2)内的输送室的上方构成FFU设置室(42)；供给管(47)，其用于向FFU设...
该专利属于昕芙旎雅有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过昕芙旎雅有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。