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图像传感器的制造方法技术
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文档序号:4145501
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本发明公开了一种CMOS图像传感器的制造方法,该方法将通过光产生的电子的消失减到最少,而不将这些电子传输到转移栅极。该方法包括:在半导体衬底的隔离区中形成沟槽,以限定包括光电二极管区和晶体管区的有源区,在所述光电二极管区的沟槽侧壁处以及在与...
该专利属于东部高科股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过东部高科股份有限公司授权不得商用。
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