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本发明公开了一种细化晶粒及提高畴翻转能力的氧化铪基铁电薄膜的制备方法，其包括：制备氧化铪基铁电薄膜的前驱体溶液；在柔性衬底表面上旋涂所述前驱体溶液，经干燥、热解后形成预设厚度的干凝胶膜；在高温退火阶段使所述干凝胶膜保持在弯曲状态下经高温热处...
该专利属于湘潭大学所有，仅供学习研究参考，未经过湘潭大学授权不得商用。

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