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用于制备光学金属氧化物层的方法和制剂技术
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文档序号:41448802
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本发明涉及一种制备光学金属氧化物层的方法、一种用于制备光学金属氧化物层的制剂以及一种包含光学金属氧化物层的光学器件。所述光学金属氧化物层特别适用于光学应用,并且可用于光学器件,例如用于增强现实(AR)和/或虚拟现实(VR)器件的衍射光栅。...
该专利属于默克专利有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过默克专利有限公司授权不得商用。
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