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本发明属于抛光技术领域，具体涉及一种抛光系统的多重降温方法。本发明提供的抛光系统的多重降温方法，包括以下步骤：(1)利用循环冷却水对抛光盘进行冷却；(2)利用循环冷却水对抛光液桶中的抛光液进行冷却；(3)利用循环冷却水对管路中的抛光液进行冷...
该专利属于上海致领半导体科技发展有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海致领半导体科技发展有限公司授权不得商用。

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