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本申请涉及集成光学技术领域，具体涉及一种电场调控型硅基微环开关及其制备方法，该电场调控型硅基微环开关包括基底、硅基波导、硅基微环；硅基波导和硅基微环置于基底上，硅基微环置于硅基波导的一侧；该电场调控型硅基微环开关还包括电调控微环、环内导电部...
该专利属于西南大学所有，仅供学习研究参考，未经过西南大学授权不得商用。

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