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本发明提供处理液供应单元和使用该单元的基材处理设备和方法。当喷嘴臂在等待位置等待的同时、在处理位置执行处理的同时以及在等待位置和处理位置之间移动的过程中，通过喷嘴臂和等待口之间的热传递以及喷嘴臂和喷嘴移动单元之间的热传递，可以维持内置在喷嘴...
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