温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本申请实施例提供了一种微机械压力开关及微机械压力开关的制作方法，包括感压层和基板层，感压层包括第一基板和第一触点，第一基板包括感压变形部；基板层与感压层连接，且在感压层与基板层之间形成真空腔，第一触点位于真空腔内，感压变形部可发生形变以使第...
该专利属于北京京东方传感技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京京东方传感技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。