下载耐放射线性半导体装置及其制造方法的技术资料

文档序号:41444203

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在半导体基板(3)之上设置有场效应晶体管(4)。MIM电容器(5)具有依次层叠于半导体基板(3)之上的下部电极(10)、绝缘膜(11)以及上部电极(12)。绝缘膜(11)添加有金属元素(13)。...
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