下载一种自适应检测装置的技术资料

文档序号:41441212

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本申请公开了一种自适应检测装置,自适应检测装置包括:底座、传输机构、调节机构和光传感器。传输机构设置于底座上,用于沿其自身传输方向传输物料载盘,调节机构可转动设于底座上,光传感器设置于调节机构上,调节机构被配置为在与物料载盘的变形部相接触时...
该专利属于深圳市深科达半导体科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市深科达半导体科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。