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本申请提出了用于化学机械研磨的夹具组件。根据实施例，提出了一种用于化学机械研磨的夹具组件，所述夹具组件包括：包括中心标记的晶圆仿制件；以及包括夹具主体和定位笔的定心夹具，其中，所述定位笔位于所述夹具主体内，使得所述定位笔的纵向轴线与所述夹具...
该专利属于英特尔NDTM美国有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过英特尔NDTM美国有限公司授权不得商用。

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