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本技术公开了掩膜版检测技术领域的一种光刻掩膜版的检查清洗装置，包括所述支撑台架顶部为水平的中空方框，翻转框架为平板状的中空方框，所述翻转框架能沿水平轴线转动的架设在支撑台架顶部中空方框内，调节夹块和固定夹块夹持在掩膜版上下两面，能够方便的对...
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