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本发明提供一种光刻胶单体及其聚合组合物的制备方法，涉及光刻技术领域。该种光刻胶单体及其聚合组合物的制备方法，包括以下具体步骤：S1、选取原料：组合树脂、聚合单体、散射粒子、光引发剂、光稳定剂、增塑剂、乳酸乙酯、丙二醇甲基醚乙酸酯、活性稀释剂...
该专利属于珠海市容大感光科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过珠海市容大感光科技有限公司授权不得商用。

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