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一种基于可控离子再分布的钙钛矿微型同质结三极晶体管的加工方法技术
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一种基于可控离子再分布的钙钛矿微型同质结三极晶体管的加工方法,涉及晶体管领域。其步骤是:1)制备带有沟道的衬底并旋涂均匀的钙钛矿薄膜后通过FIB刻蚀掉沟道外的钙钛矿薄膜并放置顶电极;2)通过对钙钛矿薄膜的高电压偏置,形成薄膜局部内可移动离子...
该专利属于北京工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京工业大学授权不得商用。
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