下载一种基于可控离子再分布的钙钛矿微型同质结三极晶体管的加工方法的技术资料

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一种基于可控离子再分布的钙钛矿微型同质结三极晶体管的加工方法,涉及晶体管领域。其步骤是:1)制备带有沟道的衬底并旋涂均匀的钙钛矿薄膜后通过FIB刻蚀掉沟道外的钙钛矿薄膜并放置顶电极;2)通过对钙钛矿薄膜的高电压偏置,形成薄膜局部内可移动离子...
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