下载一种金属薄板带连续进行表面真空镀膜装置的技术资料

文档序号:4143301

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本实用新型涉及用于金属薄板带在真空条件下表面物理气相沉积的领域。一种金属薄板带连续进行表面真空镀膜装置,包括开卷机组(10),其主要特点在于设置的真空镀膜室包括有1-3个A低真空室(20a),1-3离子处理室(30),1-5个B低真空室(4...
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