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测试异常的分析方法及装置、可读存储介质、终端制造方法及图纸
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下载测试异常的分析方法及装置、可读存储介质、终端的技术资料
文档序号:41430192
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一种测试异常的分析方法及装置、可读存储介质、终端,所述方法包括:获取待分析案件的所有晶圆以及每片晶圆的测试值;构建每片晶圆的每道工艺配方的分析因子集合;基于各片晶圆的各道工艺配方的分析因子集合,确定每道工艺配方的每个分析因子在各片晶圆中的非...
该专利属于全芯智造技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过全芯智造技术有限公司授权不得商用。
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