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本发明公开了一种氮化铝多层静电吸盘制备方法,包括以下步骤:S1:将炭黑、氮化铝粉末、氯化镧、乙醇放到球磨机中,得到氮化铝混合浆料;S2:将混合浆料通过闭式喷雾造粒塔喷雾造粒,形成造粒粉;S3:将做好的陶瓷造粒粉压制成片状陶瓷胚体;S4:使用...该专利属于芯鸿光(苏州)纳米新材料科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过芯鸿光(苏州)纳米新材料科技有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种氮化铝多层静电吸盘制备方法,包括以下步骤:S1:将炭黑、氮化铝粉末、氯化镧、乙醇放到球磨机中,得到氮化铝混合浆料;S2:将混合浆料通过闭式喷雾造粒塔喷雾造粒,形成造粒粉;S3:将做好的陶瓷造粒粉压制成片状陶瓷胚体;S4:使用...